KLA-Tencor - 美国KLA-Tencor光学表面分析仪

   KLA-Tencor公司为世界知名的专业美资半导体（芯片）设备供货商，公司总部在美国硅谷，拥有 6000 多名员工，自1976年成立以来不断致力于产品研究与发展，为全世界客户提供更完善更人性化服务，并协助半导体（芯片）厂商创造高品质、高效率的产质，目前分公司遍布美洲、欧洲、亚洲等国家。KLA-Tencor 始终致力于帮助其全球客户降低运营成本并增加收益，并已经成为其坚定不移的长期合作伙伴。

   KLA-Tencor主要产品：

   CS20光学表面分析仪

   WaferSight PWG 已图案晶圆几何形状测量系统

   LMS IPRO6 光罩图案位置测量系统

   K-T Analyzer 9.0 **数据分析系统

   2920 系列宽波等离子图案晶圆缺陷检测系统

   Puma 9850 激光扫描图案晶圆缺陷检测系统

   Surfscan SP5 无图案晶圆缺陷

   Teron  SL650 光罩检测系统

   处理450mm硅片的Surfscan SP3系统

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