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KLA-Tencor Candela CS10/CS20 表面缺陷检测设备

发布于:2019-04-03 点击:1712次

KLA-Tencor公司为世界知名的专业美资半导体(芯片)设备供货商,公司总部在美国硅谷,拥有 6000 多名员工,自1976年成立以来不断致力于产品研究与发展,为全世界客户提供更完善更人性化服务,并协助半导体(芯片)厂商创造高品质、高效率的产质,目前分公司遍布美洲、欧洲、亚洲等国家。KLA-Tencor 始终致力于帮助其全球客户降低运营成本并增加收益,并已经成为其坚定不移的长期合作伙伴。

KLA-Tencor主要产品:CS20光学表面分析仪、WaferSight PWG 已图案晶圆几何形状测量系统、LMS IPRO6 光罩图案位置测量系统、K-T Analyzer 9.0 **数据分析系统、2920 系列宽波等离子图案晶圆缺陷检测系统、Puma 9850 激光扫描图案晶圆缺陷检测系统、Surfscan SP5 无图案晶圆缺陷、Teron SL650 光罩检测系统、处理450mm硅片的Surfscan SP3系统

KLA-Tencor8系列图案化晶圆检测系统以极高的吞吐量检测各种缺陷类型,以快速识别和解决生产过程问题。8系列可实现150mm,200mm或300mm硅和非硅衬底晶圆的成本效益缺陷检测,从比较初的产品开发到批量生产,通过提供更高的批次和晶圆采样,帮助晶圆厂降低偏移风险。

KLA-Tencor CS920 SiC衬底和外延(EPI)晶片表面缺陷检查系统提供全表面,高灵敏度缺陷检测和精确的过程的反馈。这种外延晶圆表面缺陷检测系统有助于工业改善SiC衬底质量,并优化SiC外延和硅上GaN工艺的外延生长率。通过将表面缺陷检测和光致发光技术集成到一个能够捕获屈服关键缺陷(包括亚表面基面位错和所有外延堆垛层错)的检测平台中,CS920可显着提高产量并缩短产生时间的原因。

KEM-Kueppers涡街流量计 KVO V1515 SA150 L00D DCL10H SP000

KEM-Kueppers涡街流量计 KVO V1515 SA150 L00N DCL10H SP000

KEM-Kueppers涡街流量计 KVO VT2020 HA300 L00D DCH11H HP002

KEM-Kueppers涡街流量计 KVO VTP2525 SPN40 L00N ACH11M SP007

KEM-Kueppers涡街流量计 KVO V4040 HPN16 L00D DCL33H HP020

KEM-Kueppers涡街流量计 KVO VT5050 SW600 L00N DCH33M SP034

KEM-Kueppers涡街流量计 KVO VTP8080 HA600 L00D ACH10H HP002

KEM-Kueppers涡街流量计 KVO VT1515 HA150 L00D ACH11H HP007

KEM-Kueppers涡街流量计 KVO V2020 SA300 L00N DCL11M SP020

KEM-Kueppers涡街流量计 KVO V2525 HPN40 L00D DCH33H HP034

KEM-Kueppers涡街流量计 KVO VT4040 SPN16 L00N ACH33M SP007

KEM-Kueppers涡街流量计 KVO VTP5050 HW600 L00D DCL10H HP020

tag标签: KLA-TencorCandela
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